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プラズマ装置

当社の高周波2MHzを使用して、真空プラズマ装置に応用

初期実験


ガラス容器(外側に電極)


透明アクリルケース


真空素人ゆえに、
アルミでチャンバーを作ってしまいました。


双極子プラズマ




本格的な装置
 RF双極子プラズマ+DCバイアスにより、
 外部へのノイズが非常に少ない
 


 ・SUS水冷真空チャンバー
・PLC+タッチパネル制御
 ・RF双極子プラズマ 250W
 ・DCバイアス 600V
 ・ワーク台ヒーター 温調付(max 500℃)
・プラズマの電圧/電流/周波数の簡易測定
・デジタルマスフローによるPガス制御
・CMG+コントロールバルブによる圧力一定制御


用途
 金属の窒化処理
酸素アッシングによるコーティング膜除去


内部


可搬型 小型プラズマ装置



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TEL 055-237-0600